首款7纳米芯片用什么光刻机？

首款7纳米芯片用什么光刻机？

首款7纳米芯片采用的是EUV（极紫外光刻）技术。EUV技术需要采用专门设计的光刻机来进行制程，目前主要由ASML公司生产的EUV光刻机来实现。这些EUV光刻机具备更高的分辨率和更精确的制程控制能力，可以实现更小尺寸的芯片制造。因此，首款7纳米芯片采用的EUV光刻机是ASML公司生产的专门设计用于7纳米工艺制程的最先进的EUV光刻机。